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半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)的維護(hù)保養(yǎng)事項(xiàng)

更新時(shí)間:2023-01-12  |  點(diǎn)擊率:645
  半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室氣路設(shè)計(jì)理念是安全、合理、環(huán)保!那么主要做到的都是什么呢?安全理念,我們做到了對(duì)實(shí)驗(yàn)設(shè)備可能產(chǎn)生的有害廢氣、廢水進(jìn)行特殊設(shè)計(jì)、處理,保障實(shí)驗(yàn)人員的身體健康;在安全出口方面考慮到的都是根據(jù)具體情況設(shè)計(jì)的Z短的逃生路線,優(yōu)化洗眼器及緊急沖淋裝置的位置,增加了發(fā)生以外事故的逃生幾率,減少了突發(fā)情況。合理的布局,對(duì)實(shí)驗(yàn)室家具、介質(zhì)系統(tǒng)進(jìn)行正確設(shè)計(jì)、合理選材、規(guī)范施工,根據(jù)人體工程學(xué)原理,生產(chǎn)出人性化的設(shè)備,符合絕大部分人的要求。同時(shí)在通風(fēng)設(shè)施上的安裝布局都是按照標(biāo)準(zhǔn)來(lái)執(zhí)行的,保證了實(shí)驗(yàn)人員有一個(gè)良好的工作環(huán)境。
  
  半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)的維護(hù)事項(xiàng):
  
  1、對(duì)庫(kù)存、備用或因任務(wù)不足需要封存一段時(shí)間的儀器設(shè)備要定期清潔、查點(diǎn)、進(jìn)行防塵、防銹、防潮等方面的維護(hù)。
  
  2、各實(shí)驗(yàn)室必須建立嚴(yán)格的崗位責(zé)任制,系統(tǒng)根據(jù)所使用儀器設(shè)備的特點(diǎn)和要求,制定相應(yīng)的維護(hù)保養(yǎng)措施,并認(rèn)真落實(shí),使儀器設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)做到經(jīng)常化、制度化。
  
  3、要加強(qiáng)對(duì)實(shí)驗(yàn)技術(shù)人員以及學(xué)生的基本操作訓(xùn)練,使他們熟悉儀器設(shè)備性能特點(diǎn),掌握基本操作方法,避免因操作不當(dāng)或失誤造成損壞事故,特別是大型精密儀器設(shè)備使用,要嚴(yán)格執(zhí)行持證上崗的制度,嚴(yán)禁未經(jīng)培訓(xùn)、考核不合格人員私自操作大型精密儀器。
  
  半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室氣路氣體采用集中供氣方式,由實(shí)驗(yàn)室外專(zhuān)用供氣區(qū)域用管路引進(jìn)。除了潔凈空氣由空氣壓縮系統(tǒng)直接產(chǎn)生外,其余氣體都是采用高壓氣瓶供氣。每種氣體都要有主供和備供氣瓶,并安裝自動(dòng)切換面板進(jìn)行供氣控制,保證不間斷供氣。另外主要的控制閥門(mén)和減壓閥門(mén)都應(yīng)安裝在實(shí)驗(yàn)室外。實(shí)驗(yàn)室氣體由不銹鋼管路輸送,一般1.5米內(nèi)并必須有支架固定在墻面。在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)所有管路安裝在天花板下方,沿墻進(jìn)行明設(shè)。
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